仪器名称：紫外光刻机系统

英文名称：Ultraviolet light engraving machine system

所属单位：电子科技大学

原值：52.500000万元

产地国别：中国

启用日期：2013-11-07 00:00:00

主要技术指标：URE200S-A|| ||曝光面积：150*150mm，分辨率：0.8微米

主要功能：用于图形化

操作流程/视频：

样品前处理注意事项：

预约信息：状态（正常）

主要学科领域：物理学

运行状态：正常

参考收费标准：校外：200/样品; 校内：140/样品

安放地址：四川-成都-锦江区四川省成都市成华区建设北路二段四号电子科技大学（沙河校区）五系楼125