仪器名称：氧化扩散炉

英文名称：Oxidation and Diffusion Furnace

所属单位：成都工业学院

原值：62.000000万元

产地国别：中国

启用日期：2024-10-12 10:00:00

主要技术指标：工艺方式：全自动控制 工艺布局：上管：干氧氧化+湿氧氧化+退火，下管：硼扩（固态源） 设计温度：1300℃ 工作温度：600-1200℃ 晶圆规格：8英寸（兼容6英寸） 恒温区长度：≥300mm 温度控制：多通道控温仪，加热器三段高精度控温 热电偶：采用Spike TC控温，S型热偶（三点控温、单点保护），Profile TC实时监测。

主要功能：半导体材料工艺处理设备。

操作流程/视频：

样品前处理注意事项：

预约信息：状态（正常）

主要学科领域：材料科学,电子与通信技术

运行状态：正常

参考收费标准：面议

安放地址：四川-成都-郫县成都市郫都区中信大道二段1号