仪器名称：等离子体化学气相沉积

英文名称：

所属单位：天府兴隆湖实验室

原值：164.820000万元

产地国别：中国

启用日期：2023-07-10 00:00:00

主要技术指标：热台加热温度：200℃-400℃，片内不均匀性≤3%

主要功能：SiO、SiN薄膜生长

操作流程/视频：

样品前处理注意事项：

预约信息：状态（正常）

主要学科领域：物理学,材料科学,电子与通信技术

运行状态：正常

参考收费标准：面议

安放地址：四川-成都-双流县四川省天府新区科智路999号