仪器名称：紫外曝光机

英文名称：

所属单位：天府兴隆湖实验室

原值：313.120000万元

产地国别：德国

启用日期：2023-05-15 00:00:00

主要技术指标：曝光波长支持：I-line、H-line、G-line,曝光分辨率≤1.5um，正面套刻精度≤±0.25um、背面套刻精度≤±1um

主要功能：用于接触式和接近式曝光工艺，能够将设计好的掩模版图形通过曝光复制到衬底表面的光刻胶上，再经过后续刻蚀等工艺将该图形固化在衬底表面，并保证被复制图形与衬底已有图形之间的相对对准关系。相关曝光参数由程序控制，对准关系可通过手动或者机器自动进行，由微动系统调整图形间相对位置。

操作流程/视频：

样品前处理注意事项：

预约信息：状态（正常）

主要学科领域：电子与通信技术,物理学

运行状态：正常

参考收费标准：面议

安放地址：四川-成都-双流县四川省天府新区科智路999号